Session Track
S1
반도체소자 및 공정
온라인개최 (진행: 세계로룸Ⅰ, aT센터),
13:30~15:00
좌장: 김형진(인하대학교), 김윤(서울시립대학교)
S1-1
13:45~14:00
Monolithic three-dimensional CMOS-NEM Reconfigurable Logic for Island-style Operation
S1-2
14:00~14:15
Analysis of Hot Carrier Injection in Tunnel Field Effect Transistors
S1-4
14:30~14:45
플라즈마 기반 선택적 GaN 식각 공정에 따른 p-GaN/AlGaN/GaN 이종접합의 표면 손상 회복을 위한 열처리 공정 연구
S1-5
14:45~15:00
TiN 게이트를 사용한 P-GaN/AlGaN/GaN 이종 접합 FET의 Post-Metallization Annealing 온도에 따른 드레인 전류 특성 개선 연구